經(jīng)典消光法橢偏測(cè)量原理
儀器采用消光法橢偏測(cè)量原理,易于操作者理解和掌握橢偏測(cè)量基本原理和過(guò)程。
方便**的樣品水平放置方式
采用水平放置樣品的方式,方便樣品的取放。
緊湊的一體化結(jié)構(gòu)
集成一體化設(shè)計(jì),簡(jiǎn)潔的儀器外形通過(guò)USB接口與計(jì)算機(jī)相連,方便使用。
高準(zhǔn)確性的激光光源
采用激光作為探測(cè)光波,測(cè)量波長(zhǎng)準(zhǔn)確度高。
豐富實(shí)用的樣品測(cè)量功能
可測(cè)量納米薄膜的膜厚和折射率;塊狀材料的復(fù)折射率、樣品反射率、樣品透過(guò)率。
便捷的自動(dòng)化操作
儀器軟件可自動(dòng)完成樣品測(cè)量,并可進(jìn)行方便的測(cè)量數(shù)據(jù)分析、儀器校準(zhǔn)等操作。
**的用戶使用權(quán)限管理
軟件中設(shè)置了用戶使用權(quán)限(包括:管理員、操作者等模式),便于儀器管理和使用。
可擴(kuò)展的儀器功能
利用本儀器,可通過(guò)適當(dāng)擴(kuò)展,完成多項(xiàng)偏振測(cè)量實(shí)驗(yàn),如馬呂斯定律實(shí)驗(yàn)、旋光測(cè)量實(shí)、旋光等。
項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) |
儀器型號(hào) | EX2 |
測(cè)量方式 | 自動(dòng)測(cè)量 |
樣品放置方式 | 水平放置 |
光源 | He-Ne激光器,波長(zhǎng)632.8nm |
膜厚測(cè)量重復(fù)性* | 0.5nm (對(duì)于Si基底上100nm的SiO2膜層) |
膜厚范圍 | 透明薄膜:1-4000nm 吸收薄膜則與材料性質(zhì)相關(guān) |
折射率范圍 | 1.3 – 10 |
探測(cè)光束直徑 | Φ2-3mm |
入射角度 | 30°-90°,精度0.05° |
偏振器方位角讀數(shù)范圍 | 0-360° |
偏振器步進(jìn)角 | 0.014° |
樣品方位調(diào)整 | Z軸高度調(diào)節(jié):16mm 二維俯仰調(diào)節(jié):±4° |
允許樣品尺寸 | 樣品直徑可達(dá)Φ160mm |
配套軟件 | * 用戶權(quán)限設(shè)置 * 多種測(cè)量模式選擇 * 多個(gè)測(cè)量項(xiàng)目選擇 * 方便的數(shù)據(jù)分析、計(jì)算、輸入輸出 |
*大外形尺寸 | 約400*400*250mm |
儀器重量(凈重) | 約20Kg |
選配件 | * 半導(dǎo)體激光器 |
ISO9001國(guó)際質(zhì)量體系下的儀器質(zhì)量保證
專業(yè)的橢偏測(cè)量原理課程
專業(yè)的儀器使用培訓(xùn)
| 招標(biāo)產(chǎn)品 | 品牌/型號(hào) | 招標(biāo)單位 | 中標(biāo)單位 | 中標(biāo)價(jià)格 | 中標(biāo)日期 |