編輯日期：2026-04-14

奧林巴斯MX51工業(yè)檢查顯微鏡是一款高性價(jià)比的顯微鏡，適用于各種電子元件、晶圓和大型樣本的觀察需求

為用戶提供*高的效率

滿足客戶需求是奧林巴斯的**要?jiǎng)?wù)。

正是牢記這一點(diǎn)，奧林巴斯所提供的顯微鏡解決方案讓工業(yè)檢查變得更輕松、更便捷、更**。同時(shí)，當(dāng)將顯微鏡成功集成應(yīng)用到生產(chǎn)線上，操作舒適性等人體工程學(xué)問題與晶圓**問題就顯得尤為重要，我們注重解決此類問題。奧林巴斯始終為半導(dǎo)體晶圓、平板顯示器和電子設(shè)備等在內(nèi)的多個(gè)行業(yè)，提供新構(gòu)思、解決方案和技術(shù)支持。（來源：成貫儀器）

MX51

這款經(jīng)濟(jì)**的顯微鏡能夠檢查多種器件和晶圓（尺寸不超過150mm）。調(diào)焦機(jī)構(gòu)和照明強(qiáng)度控制裝置相互緊挨，可使用同一只手操作。符合SEMIS2/S8，增強(qiáng)了**性和可靠性。

MX51顯微鏡——用于電子裝置檢查

專用為電子裝置生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)

靜電放電（ESD）

MX51顯微鏡的機(jī)身和150mm的載物臺(tái)都做有防靜電涂層，可快速**靜電，避免觀察的樣品被靜電損壞。這款顯微鏡還可完全升級為ESD保護(hù)型。

具有可擴(kuò)展性，以用于厚樣品的檢查

隨著電子裝置越來越具多樣化，各種不同尺寸的樣品需要檢測。這款顯微鏡的標(biāo)準(zhǔn)*大樣品厚度為30mm，但通過插入中間附件，還可檢測更厚的樣品。（定制規(guī)格）。

結(jié)構(gòu)靈活，可檢測更厚的樣品

符合SEMI S2/S8，增強(qiáng)了**性且更符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì)原理

MX51系列顯微鏡符合多項(xiàng)國際行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，可保證一流的可靠性。

MX51系列顯微鏡——易于操作

檢測速度更快，確保生產(chǎn)更**和生產(chǎn)能力更高

直觀的載物臺(tái)設(shè)計(jì)

奧林巴斯提供了150mm和100mm兩種規(guī)格的載物臺(tái)。150mm載物臺(tái)帶有內(nèi)嵌離合桿，可以快速地粗調(diào)/微調(diào)載物臺(tái)，以對準(zhǔn)載物臺(tái)上的樣品，調(diào)節(jié)時(shí)操作人員的雙眼無需離開目鏡，減少了工作疲勞。（來源：成貫儀器）

考慮了檢查效率的設(shè)計(jì)

高靈敏度載物臺(tái)可以迅速?zèng)Q定位置

內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄

MX51主要操作部件集中在前面，操作人員易于操作，即使長時(shí)間操作也不會(huì)感到疲勞。專用150mm載物臺(tái)內(nèi)置離合器，可實(shí)現(xiàn)輕松移動(dòng)。

物鏡轉(zhuǎn)盤帶有編碼，可在屏幕上提供物鏡信息

奧林巴斯半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡MX51的物鏡轉(zhuǎn)換器帶有編碼，物鏡倍率可在奧林巴斯的Stream軟件系統(tǒng)上顯示，或是若使用單獨(dú)顯示型攝像頭配置，也可在屏幕上直接顯示。這樣，您可以在觀測過程中監(jiān)測及連同圖像一起記錄放大倍率。這一便捷的功能是由手動(dòng)編碼的物鏡轉(zhuǎn)盤實(shí)現(xiàn)的。

帶有編碼的物鏡轉(zhuǎn)盤和控制單元

使用電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤，可直接切換物鏡

MX51可搭載多種電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤。使用外部手持控制器，可以直接選擇所需的物鏡，或是也可使用奧林巴斯的Stream軟件，控制物鏡選擇。MX51還帶有一個(gè)能夠?qū)χ械碾妱?dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤，以實(shí)現(xiàn)高精度定位（建議高倍率時(shí)使用）。

MX51顯微鏡——擁有失效分析所需的*佳光學(xué)質(zhì)量

可通過多種觀察方法檢測細(xì)微缺陷

先進(jìn)的UIS2光學(xué)系統(tǒng)，提供精確的缺陷檢測性能

整個(gè)MX系列顯微鏡都可提供更明亮的明視場和暗視場觀察，并提高了檢測靈敏度，因此，缺陷檢測速度更快，并可確保檢測失誤更少。MX系列顯微鏡在觀測小直徑晶圓時(shí)，能夠?qū)崿F(xiàn)更高的精度。這些小型晶圓被廣泛用于當(dāng)前越來越小巧的傳感器和高性能電子設(shè)備上。

從可見光觀察到熒光和近紅外觀察，擁有多種觀 察方法

通過標(biāo)準(zhǔn)照明裝置(BX-RLA2)，可進(jìn)行近紅外觀察，此外，該系列顯微鏡還提供了明視場、暗視場、DIC和簡易偏振光觀察模式。用戶還可選擇**型的BX-URA2型照明裝置，進(jìn)行熒光觀察。（來源：成貫儀器）

透射光觀察

透射光照明裝置與150mm的載物臺(tái)一起使用時(shí)，可在透射光明場觀察模式下檢查*厚2mm的試樣，透射照明的范圍為100mm x100mm。整個(gè)照明裝置外形纖巧，對載物臺(tái)操作的影響極小，在檢測MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)）傳感器和其他光學(xué)/光電器件時(shí)非常有用。

透射照明模塊

觀察影像實(shí)例

明視場觀察           暗視場觀察            微分干涉觀察熒光觀察

軟件方案

使用數(shù)碼照相機(jī)記錄和保存數(shù)碼影像

三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機(jī)?？梢员４婧陀涗洈?shù)碼影像，幫助創(chuàng)建觀察報(bào)告?？筛鶕?jù)用途從圖像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數(shù)碼照相機(jī)。

幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察方法的附件

近紅外線觀察單元

由可見光線領(lǐng)域到近紅外線領(lǐng)域的像差校正物鏡，和紅外線用超廣角三目鏡筒等，備有各種對應(yīng)近紅外線觀察的單元。在晶圓凸出物接觸面等的觀察上發(fā)揮威力。

近紅外線觀察單元                 近紅外線觀察

熒光觀察單元

在滑桿上追加鏡子裝置可以對應(yīng)熒光觀察。備有U.B.G激勵(lì)的反射鏡裝置，可有效地檢查和分析有機(jī)EL和殘留光刻膠。（來源：成貫儀器）

熒光鏡單元                 熒光觀察