可測量大尺寸材料、單層與多層膜、界面、超薄膜與厚膜的厚度與光學(xué)參數(shù)。SE850DUV特別適用于高要求的研發(fā)應(yīng)用,例如測量玻璃上的薄透明膜、有機發(fā)光體、多層半導(dǎo)體材料復(fù)合膜、窗玻璃上的低e鍍層、*新微電子應(yīng)用如SOI、高k和低k材料,也能分析各向異性和非均勻性樣品。