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光譜范圍: 190 nm - 950 nm
SE 800 DUV 針對要求苛刻的應用而設計，如玻璃上的極薄透明膜，平板印刷中的光刻膠材料和減反射膜，透明或吸收基底上的多層膜，**微電子應用比如SOI，ONOPO和高k值材料。各向異性材料和非均勻樣品也能夠被分析。
SE 800DUV 是基于在紫外-可見光-近紅外波段的快速二極管陣列探測器高性能光譜橢偏儀，能夠快速獲得數(shù)據(jù)并在全波段解析，配置了高精度延遲器和電腦控制起偏器。SE 800DUV基于步進掃描分析操作原理。分析器由光柵和光電二極管陣列組成。
SE 800DUV的深紫外概念被設計針對低散射光線，對低反射樣品也有很高靈敏度。
主要應用
·測量單層膜或多層膜的厚度和折射率。
·測量化合物薄膜，比如SiOxNy, AlGaN
·在紫外-可見光-近紅外波段測量材料的光學性質(zhì)
·測量指數(shù)梯度
·測量膜表面和界面間粗糙程度
·確定材料成分
·分析較厚的膜，厚度范圍可到30微米
·適合測量In攙雜半導體材料 (InP, InGaAs, InGaAlAs, InN)
選項
·紫外光譜擴展選項，280 - 850 nm
·近紅外光譜擴展選項，1700 - 2300 nm
·電腦控制高性能消色差補償器，針對紫外-可見光波段
·電腦控制起偏器
·電腦控制自動角度計, 40o-90o, 精度0.01o
·手動x-y載物臺，150 mm行程
·電機驅(qū)動x-y載物臺，行程50 mm - 200 mm, SENTECH地貌圖掃描軟件
·透射測量樣品夾具
·攝象頭選項，用于樣品校準和表面監(jiān)測
·液體膜測量單元
·反射式膜厚儀 FTPadvanced, 光斑直徑80 mm
·微細光斑選項
·自動對覺選項，結(jié)合地貌圖掃描選項
·SENTECH 標準樣片
·附加許可，使 SpectrRay II 軟件可以用于多臺電腦
| 招標產(chǎn)品 | 品牌/型號 | 招標單位 | 中標單位 | 中標價格 | 中標日期 |
