編輯日期：2026-03-30

迄今為止*簡(jiǎn)單易用的橢偏儀 
? SE 500adv結(jié)合橢偏測(cè)量和反射測(cè)量 
? 可**橢偏測(cè)量對(duì)透明膜厚度的周期不確定性 
? 膜厚測(cè)量范圍可擴(kuò)展**25000 nm. 
? 激光波長(zhǎng)632.8 nm 
? 反射計(jì)光譜范圍450 nm-920 nm 
? 光斑直徑80 μm 
? 150 mm (z-tilt)樣品臺(tái) 
? 角度計(jì)，可變?nèi)肷浣嵌?，步進(jìn)5° 
? LAN連接電腦 

　　CER組合橢偏儀SE 500advanced可作為激光橢偏儀，CER組合式橢偏儀或反射膜厚儀FTPadvanced操作。比常規(guī)激光橢偏儀有更好的適應(yīng)性。 

作為橢偏儀操作 
　　單角度和多角度測(cè)量，可測(cè)量*多三層膜的厚度和光學(xué)參數(shù)，測(cè)量波長(zhǎng)632.8nm，有*高的測(cè)量精度。 
作為反射式膜厚儀FTPadvanced操作 
　　白光正入射測(cè)量，可測(cè)量透明膜或弱吸收薄膜，厚度*大可達(dá)25μm。配置更先進(jìn)的軟件FTPexpert后能夠測(cè)量多層膜。 
作為CER組合橢偏儀操作 
　　解決了透明膜的周期不確定性問(wèn)題，并由于確定的膜厚周期，折射率測(cè)量精度顯著增加?？蓽y(cè)量透明膜的Cauchy系數(shù)。