分辨率 高真空模式(二次電子) 低真空(背散射電子, 低真空二次電子) | 1.2nm(30kV);FIB <5nm(30kV) 2.0nm(30kV) |
工作真空 低真空模式 電子槍真空 離子槍真空 | 7-500Pa <3×10-7 Pa <5×10-6 Pa |
電子光學(xué)工作模式 | 分辨率/景深/視野/大視野/電子衍射花樣 |
放大倍率 | 2x-1,000,000x(FE-SEM);150x-1,000,000x(FIB) |
加速電壓 | 200V**30KV(SEM);1KV**30KV(FIB) |
電子槍 | 高亮度肖特基(FE-SEM);液態(tài)金屬鎵離子源(FIB) |
探針電流 | 1pA**2μA(SEM);1pA**40nA(FIB) |
掃描速度 | 從20ns/pixel**10ms/pixel,可分段或連續(xù)調(diào)整 |
聚焦窗口 | 形狀、尺寸和位置連續(xù)可調(diào) |
掃描特性 | 動(dòng)態(tài)聚焦,點(diǎn)和線(xiàn)掃描,傾斜校正,實(shí)時(shí)三維圖像 |
圖象尺寸 | *大可達(dá)8192×8192像素,圖象比例可選1:1、4:3或2:1。 |
顯微鏡控制 | 通過(guò)計(jì)算機(jī)(鍵盤(pán)、鼠標(biāo)、軌跡球)操作VEGA TC軟件,所以顯微鏡的功能均可在WindowsTM平臺(tái)下實(shí)現(xiàn) |
自動(dòng)程序 | 專(zhuān)利的實(shí)時(shí)電子束追蹤技術(shù)自動(dòng)*優(yōu)化電子束,根據(jù)放大倍數(shù)優(yōu)化束斑(BI OptiMag),自動(dòng)聚焦&消象散,自動(dòng)調(diào)整對(duì)比度&亮度,自動(dòng)調(diào)整掃描速度(根據(jù)信噪比),自動(dòng)調(diào)整飽和電流,電子槍合軸,透鏡&光闌對(duì)中,真空控制,加速電壓的補(bǔ)償,灰度級(jí)調(diào)整 |
遠(yuǎn)程控制 | 通過(guò)TCP/IP |
內(nèi)部尺寸 | 300mm寬×330mm深 |
門(mén)寬 | 280mm寬×310mm深 |
接口數(shù)量 | 13+ |
樣品室減振方式 | 內(nèi)置主動(dòng)式電磁減振 |
類(lèi)型 | 全電腦化優(yōu)中心 |
移動(dòng)范圍 | X=130mm —— 馬達(dá)驅(qū)動(dòng) 傾斜:-30°到+90°——馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
樣品高度 | *大139mm |
| 招標(biāo)產(chǎn)品 | 品牌/型號(hào) | 招標(biāo)單位 | 中標(biāo)單位 | 中標(biāo)價(jià)格 | 中標(biāo)日期 |