分辨率 高真空(二次電子) 低真空(背散射電子) (低真空二次電子) | 1.0nm(30kV),1.2nm(15kV),2.0nm(3kV) 2.0nm(30kV) 1.5nm(30kV), 3nm(3kV) |
工作真空 高真空 低真空 槍體真空 | <5×10-4Pa 7-150Pa <3×10-7Pa |
電子光學(xué)工作模式 | 分辨率/景深/視野/大視野/電子衍射花樣 |
放大倍率 | 3.5×-1,000,000×連續(xù)可調(diào) |
加速電壓 | 200V**30KV |
電子槍 | 高亮度肖特基發(fā)射源 |
探針電流 | 2pA**100nA |
掃描速度 | 從20ns/pixel**10ms/pixel,可分段或連續(xù)調(diào)整 |
聚焦窗口 | 大小和位置連續(xù)可調(diào) |
掃描特性 | 動態(tài)聚焦,聚焦窗口,點和線掃描,傾斜校正,實時三維圖像 |
圖象尺寸 | *大可達8192×8192像素,圖象比例可選1:1、4:3或2:1。 |
顯微鏡控制 | 通過計算機(鍵盤、鼠標、軌跡球)操作VEGA TC軟件,所以顯微鏡的功能均可在WindowsTM平臺下實現(xiàn) |
自動程序 | 獨有的實時電子束追蹤(In-Flight Beam TracingTM)技術(shù)可持續(xù)調(diào)節(jié)探針電流和束斑直徑,真空控制,電子槍合軸,光闌&透鏡對中,加速電壓改變的補償,*優(yōu)化束斑大小和探針電流,*優(yōu)化放大倍率和束斑大小,掃描速度,高度和對比度,聚焦和消像散,灰度等級調(diào)整。 |
遠程控制 | 通過TCP/IP |
內(nèi)部尺寸 | Ф230mm |
門寬 | 148mm |
接口數(shù)量 | 11+ |
樣品室減振方式 | 氣墊減振(可選配內(nèi)置主動式電磁減振) |
類型 | 全電腦化優(yōu)中心 |
移動范圍 | 全馬達驅(qū)動控制方式: X=80mm--馬達驅(qū)動 Y=60mm--馬達驅(qū)動 Z=47mm--馬達驅(qū)動 旋轉(zhuǎn):360°連續(xù)可調(diào)--馬達驅(qū)動 傾斜:-80°到+80°--馬達驅(qū)動 |
樣品高度 | *大81mm |
| 招標產(chǎn)品 | 品牌/型號 | 招標單位 | 中標單位 | 中標價格 | 中標日期 |