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分辨率 高真空(二次電子) 低真空(背散射電子) | 1.0nm(30kV),1.2nm(15kV),2.0nm(3kV) / |
工作真空 高真空 低真空 槍體真空 | <5×10-4Pa / <3×10-7Pa |
電子光學(xué)工作模式 | 分辨率/景深/視野/大視野/電子衍射花樣 |
放大倍率 | 3.5×-1,000,000×連續(xù)可調(diào) |
加速電壓 | 200V**30KV |
電子槍 | 高亮度肖特基 |
探針電流 | 2pA**100nA |
掃描速度 | 從20ns/pixel**10ms/pixel,可分段或連續(xù)調(diào)整 |
聚焦窗口 | 大小和位置連續(xù)可調(diào) |
掃描特性 | 動(dòng)態(tài)聚焦，聚焦窗口，點(diǎn)和線掃描，傾斜校正，實(shí)時(shí)三維圖像 |
圖象尺寸 | *大可達(dá)8192×8192像素，圖象比例可選1：1、4：3或2：1。 |
顯微鏡控制 | 通過(guò)計(jì)算機(jī)（鍵盤(pán)、鼠標(biāo)、軌跡球）操作VEGA TC軟件，所以顯微鏡的功能均可在WindowsTM平臺(tái)下實(shí)現(xiàn) |
自動(dòng)程序 | 獨(dú)有的實(shí)時(shí)電子束追蹤(In-Flight Beam TracingTM)技術(shù)可持續(xù)調(diào)節(jié)探針電流和束斑直徑，真空控制，電子槍合軸，光闌&透鏡對(duì)中，加速電壓改變的補(bǔ)償，*優(yōu)化束斑大小和探針電流，*優(yōu)化放大倍率和束斑大小，掃描速度，高度和對(duì)比度，聚焦和消像散，灰度等級(jí)調(diào)整。 |
遠(yuǎn)程控制 | 通過(guò)TCP/IP |
內(nèi)部尺寸 | Ф230mm |
門(mén)寬 | 148mm |
接口數(shù)量 | 11+ |
樣品室減振方式 | 內(nèi)置氣墊（可選配內(nèi)置主動(dòng)式電磁減振） |
類型 | 全電腦化優(yōu)中心 |
移動(dòng)范圍 | 全馬達(dá)驅(qū)動(dòng)控制方式: X=80mm－－馬達(dá)驅(qū)動(dòng) Y=60mm－－馬達(dá)驅(qū)動(dòng) Z=47mm－－馬達(dá)驅(qū)動(dòng) 旋轉(zhuǎn):360°連續(xù)可調(diào)－－馬達(dá)驅(qū)動(dòng) 傾斜:-80°到+80°－－馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
樣品高度 | *大81mm |
| 招標(biāo)產(chǎn)品 | 品牌/型號(hào) | 招標(biāo)單位 | 中標(biāo)單位 | 中標(biāo)價(jià)格 | 中標(biāo)日期 |