技術(shù)參數(shù):
分辨率 高真空(二次電子) 低真空(背散射電子) | 3.0nm(30kV),8.0nm(3kV)/ 選配 六硼化鑭 2.0nm(30kV),5.0nm(3kV) / |
工作真空 高真空 低真空 | <9×10-3Pa / |
電子光學(xué)工作模式 | 分辨率/景深/視野/大視野/電子衍射花樣 |
放大倍率 | 1.5x-1,000,000x |
加速電壓 | 200V**30KV |
電子槍 | 鎢燈絲/六硼化鑭 |
探針電流 | 1pA**2μA |
掃描速度 | 從20ns/pixel**10ms/pixel,可分段或連續(xù)調(diào)整 |
聚焦窗口 | 形狀、尺寸和位置連續(xù)可調(diào) |
掃描特性 | 動(dòng)態(tài)聚焦,聚焦窗口,點(diǎn)和線掃描,傾斜校正,實(shí)時(shí)三維圖像 |
圖象尺寸 | *大可達(dá)8192×8192像素,圖象比例可選1:1、4:3或2:1。 |
顯微鏡控制 | 通過計(jì)算機(jī)(鍵盤、鼠標(biāo)、軌跡球)操作VEGA TC軟件,所以顯微鏡的功能均可在WindowsTM平臺下實(shí)現(xiàn) |
自動(dòng)程序 | 實(shí)時(shí)電子束追蹤優(yōu)化,束斑直徑優(yōu)化放大倍數(shù),聚焦&消象散,對比度&亮度,掃描速度(根據(jù)信噪比),燈絲飽和調(diào)整,電子槍對中,光闌&透鏡對中,真空控制,加速電壓的補(bǔ)償,灰度等級調(diào)整 |
遠(yuǎn)程控制 | 通過TCP/IP |
內(nèi)部尺寸 | 300mm寬×330mm深 |
門寬 | 280mm寬×310mm深 |
接口數(shù)量 | 12+ |
樣品室減振方式 | 氣墊(可選配內(nèi)置主動(dòng)式電磁減振) |
類型 | 全電腦化優(yōu)中心 |
移動(dòng)范圍 | X=130mm —— 馬達(dá)驅(qū)動(dòng) Y=130mm ——馬達(dá)驅(qū)動(dòng) Z=100mm —— 馬達(dá)驅(qū)動(dòng) 旋轉(zhuǎn):360°連續(xù)可調(diào)——馬達(dá)驅(qū)動(dòng) 傾斜:-30°到+90°——馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
樣品高度 | *大145mm |
| 招標(biāo)產(chǎn)品 | 品牌/型號 | 招標(biāo)單位 | 中標(biāo)單位 | 中標(biāo)價(jià)格 | 中標(biāo)日期 |